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用于半导体检测显微镜 三丰Mitutoyo FS70  

用于半导体检测显微镜 三丰Mitutoyo FS70
日本三丰Mitutoyo FS70 半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 ,工作距离足够长,倍数高,能够应用在各种检测场合和质量确认方面。搭配Mitutoyo的全系列可见光远场校正镜头,显微镜系统的放大倍率可涵盖20X到8000X,工作距离范围从6到34mm。对焦目镜可安装直径为25mm的测量分划板来测量。50/50三端输出显微镜的粗调范围为50mm,精确调整分辨率可达0.1mm,并可同时进行视频输出和双目观测。FS70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。可应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。


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产品型号 8
货号 操作 名称
E80100143  FS70-TH 用于半导体检测显微镜 (1X管镜头 可调光通比 C-mount接口)   [PDF] 聚焦调节行程:50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ;直立图像;瞳距调节范围: 51 - 76mm;视场数 Field number:24;俯角 Tilt angle:0°-20°;光通比:可调100/0 or 0/100;1X管镜头;相机安装端口:C-mount;物镜(用于观察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
E80100146  FS70L 用于半导体检测显微镜 (1x管镜头 TV接口激光)   [PDF] 聚焦调节行程:50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ;直立图像;瞳距调节范围: 51 - 76mm;视场数 Field number:24;光通比:可调100/0 or 0/100;防护滤光片:内置激光滤光片;适用激光波段:1064/532/355nm; 1X管镜头;相机安装端口:使用带TV接口的激光;物镜(用于观察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo;物镜(用于激光切割):M/LCD Plan NIR;M/LCD Plan NUV    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
E80100147  FS70L-TH 用于半导体检测显微镜 (1X管镜头 TV接口激光)   [PDF] 聚焦调节行程:50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ;直立图像;瞳距调节范围: 51 - 76mm;视场数 Field number:24;俯角 Tilt angle:0°-20°;光通比:可调100/0 or 0/100;防护滤光片:内置激光滤光片;适用激光波段:1064/532/355nm;1X管镜头;相机安装端口:使用带TV接口的激光;物镜(用于观察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo;物镜(用于激光切割):M/LCD Plan NIR;M/LCD Plan NUV    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
E80100148  FS70L4 用于半导体检测显微镜 (1x管镜头 C-mount带开关)   [PDF] 聚焦调节行程:50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ;直立图像;瞳距调节范围: 51 - 76mm;视场数 Field number:24;光通比:可调100/0 or 0/100;防护滤光片:内置激光滤光片;适用激光波段:532/266nm; 1X管镜头;相机安装端口:C-mount开关(带绿色滤光片转换开关);物镜(用于观察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo;物镜(用于激光切割):M Plan UV    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
E80100149  FS70L4-TH 用于半导体检测显微镜 (1x管镜头 C-mount带开关)   [PDF] 聚焦调节行程:50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ;直立图像;瞳距调节范围: 51 - 76mm;视场数 Field number:24;俯角 Tilt angle:0°-20°;光通比:可调100/0 or 0/100;防护滤光片:内置激光滤光片;适用激光波段:532/266nm;1X管镜头;相机安装端口:C-mount开关(带绿色滤光片转换开关);物镜(用于观察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo;物镜(用于激光切割):M Plan UV    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
E80100144  FS70Z 用于半导体检测显微镜 (1x-2x管镜头 固定光通比50/50 C-mount)   [PDF] 聚焦调节行程:50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ;直立图像;瞳距调节范围: 51 - 76mm;视场数 Field number:24;光通比:固定 50/50;带1X-2X变焦放大倍率转换器;相机安装端口:C-mount;物镜(用于观察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
E80100145  FS70Z-TH 用于半导体检测显微镜 (1x-2x管镜头 C-mount)   [PDF] 聚焦调节行程:50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ;直立图像;瞳距调节范围: 51 - 76mm;视场数 Field number:24;俯角 Tilt angle:0°-20°;光通比:可调100/0 or 0/100;带1X-2X变焦放大倍率转换器;相机安装端口:C-mount;物镜(用于观察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
E80100060  FS70 用于半导体检测显微镜 (1X管镜头 固定光通比50/50 C-mount)   [PDF] 聚焦调节行程:50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ;直立图像;瞳距调节范围: 51 - 76mm;视场数 Field number:24;光通比:固定 50/50;1X管镜头;相机安装端口:C-mount;物镜(用于观察):M Plan Apo; M Plan Apo SL; G Plan Apo    价格 : 请联系客服 库存/货期:请咨询客服
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日本三丰Mitutoyo FS70 半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 ,工作距离足够长,倍数高,能够应用在各种检测场合和质量确认方面。搭配Mitutoyo的全系列可见光远场校正镜头,显微镜系统的放大倍率可涵盖20X到8000X,工作距离范围从6到34mm。对焦目镜可安装直径为25mm的测量分划板来测量。50/50三端输出显微镜的粗调范围为50mm,精确调整分辨率可达0.1mm,并可同时进行视频输出和双目观测。

FS70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。可应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。



通用参数

特点

采用Mitutoyo远场校正镜头

三端输出设计可轻松接收视频

转盘可接最多四个物镜


应用:

切割、修整、校正、 给半导体电路做标记

薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。

还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。

• 可用于红外光学系统*。

应用:晶体硅的内部观察;红外光谱特征分析。

* 需要红外光源和红外摄像机。

• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。

• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。

• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。


技术参数

标准型号

FS70

378-184-1

FS70-TH

378-184-3

FS70Z

378-185-1

FS70Z-TH

378-185-3

FS70L

378-186-1

FS70L-TH

378-186-3

FS70L4

378-187-1

FS70L4-TH

378-187-3

Short base model No

短基础型号

FS70S

378-184-2

FS70-THS

378-184-4

FS70ZS

378-185-2

FS70Z-THS

378-185-4

FS70L-S

378-186-2

FS70L-THS

378-186-4

FS70L4S

378-187-2

FS70L4-THS

378-187-4

聚焦调节 Focus adjustment

使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围

图像 Image

正像 Erect image

瞳距 Pupil distance

Siedentopf 登托夫型, 调节范围:2 - 3” /  51 - 76mm

视场数 Field number

24mm

俯角 Tilt angle

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

-

0°-20°

光通比 Optical Pass Ratio

固定(目

镜/TV=

50%/50%)

可调型(目

镜/管径=

100%/0%:

0%/100%)

固定(目

镜/TV=

50%/50%)

可调型

(目镜/管径=100%/0% or 0%/100%)

防护滤光片

-

内置激光滤光片

管径镜头 Tube lens

1x

1x-2x放大

1x

适用激光

-

1064/532/355nm

532/266nm

相机安装端口

C-mount (适用适配器B选件)

使用带TV接口的激光

C-mount开关(带绿色滤光片转换开关)

照明系统(选件)

亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑) 12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度

物镜(用于观察)

M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

物镜(用于激光切割)

-

M/LCD Plan NIR,

M/LCD Plan NUV

M Plan UV

载重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量(主机)

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

灯泡更换

标准: 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181)

用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700)

注:镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。

四种主体类型:

FS70-带1X管镜头的主体(非激光)

FS70Z-主体(非激光),带1X-2X变焦放大倍率转换器

FS70L-三YAG激光波长1064/532/355nm 主体1X*

FS70L4-两个波长范围532/266nm 主体1X*


Mitutoyo   FS70 Inspection Microscope

Microscope System

Mitutoyo FS70 Microscope System   (includes #55-999, #56-000, #56-001, #56-002)

#56-003

Microscope Head (One Required)

Mitutoyo FS70 Microscope Head

#55-999

Microscope Stand (One Required)

Mitutoyo FS70 Microscope Stand

#56-000

Microscope Eyepieces in Pairs   (One Required)

10X WF Focusing Eyepieces, 24mm   Field Dia.

#56-001

15X WF Focusing Eyepieces, 16mm   Field Dia.

#56-310

20X WF Focusing Eyepieces, 12mm   Field Dia.

#56-004

Microscope Turret (One Required)

Manual 4 Position Turret for   Mitutoyo FS70

#56-002

Motorized 4 Position Turret for   Mitutoyo FS70

#56-313

Microscope Stage (Optional)

2" x 2" XY-Axes   Positioning Stage

#56-011

Accessories and Reticles   (Optional)

Fiber Optic Light Guide for   FS70, 72" Length

#56-008

Polarizer Set

#56-009

C-Mount Coupler (1X) for Video   Adaptation

#56-010

90° Crossline, Reticle

#56-005

Concentric Circles Reticle, 1.2   - 18mm Dia, 1.2mm Increments

#56-007

20mm Line/0.1mm Divisions,   Reticle

#56-183

5mm Line/0.05mm Divisions,   Reticle

#56-184

90°/60° Crossline, Reticle

#56-311


Stock   No.

Objective

WD (mm)

Resolving Power (μm)

10X Eyepiece #56-001

15X Eyepiece #56-310

20X Eyepiece #56-004

Mag.

FOV (mm)

Mag.

FOV (mm)

Mag.

FOV (mm)

#58-235

M Plan Apo 1X

11

11

10-20X

24-12

15-30X

16-8

20-40X

12-6

#46-142

M Plan Apo 2X

34

5

20-40X

12-6

30-60X

8-4

40-80X

6-3

#46-143

M Plan Apo 5X

34

2

50-100X

4.8-2.4

75-150X

3.2-1.6

100-200X

2.4-1.2

#66-383

M Plan Apo 7.5X

35

1.3

75-150X

3.2-1.6

112.5-225X

2.13-1.07

150-300X

1.6-0.8

#46-144

M Plan Apo 10X

33.5

1

100-200X

2.4-1.2

150-300X

1.6-0.8

200-400X

1.2-0.6

#46-145

M Plan Apo 20X

20

0.7

200-400X

1.2-0.6

300-600X

0.8-0.4

400-800X

0.6-0.3

#46-146

M Plan Apo 50X

13

0.5

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#46-147

M Plan Apo 100X

6

0.4

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06

#46-398

M Plan Apo 20X SL

30.5

1

200-400X

1.2-0.6

300-600X

0.8-0.4

400-800X

0.6-0.3

#46-399

M Plan Apo 50X SL

20.5

0.7

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#46-401

M Plan Apo 100X SL

13

0.5

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06

#34-247

M Plan Apo 5X HR

25.5

1.3

50-100X

4.8-2.4

75-150X

3.2-1.6

100-200X

2.4-1.2

#58-236

M Plan Apo 10X HR

15

0.6

100-200X

2.4-1.2

150-300X

1.6-0.8

200-400X

1.2-0.6

#58-237

M Plan Apo 50X HR

5.2

0.3

500-1000X

0.48-0.24

750-1500X

0.32-0.16

1000-2000X

0.24-0.12

#58-238

M Plan Apo 100X HR

1.3

0.3

1000-2000X

0.24-0.12

1500-3000X

0.16-0.08

2000-4000X

0.12-0.06











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