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垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser, VCSEL)是一种以砷化镓半导体材料为基础研制的半导体激光器,其激光垂直于顶面发射,与发光二极管(LED)和激光二极管(LD)存在本质区别;它由反射镜面、有源层及金属接触层构成,其中两个发射镜分别为 P 型和 N 型布拉格反射器(DBR),有源区由量子阱组成,在 P 型 DBR 的外表面制备金属接触层以形成欧姆接触,并在 P 型 DBR 上开设圆形出光口用于激光输出;该激光器具有远场发散角小、光束窄且呈圆形,阈值电流低、调制频率高(可达 300kHz),以及通过改变激光电流和温度可实现波长调谐等特性,其封装内部集成了热电制冷器(TEC)和光电探测器(PD),专为高速光纤应用场景设计。