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货号 | 操作 | 名称 | 描述 |
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EUV 光源
高占空比和交钥匙操作(用户友好且具有自动化协议,确保系统平稳运行,无风险和中断)
• 高亮度(意味着高吞吐量)以及出色的稳定性
• jue对Min. 碎片
• 很高的正常运行时间
• 掩膜及表面检查:
• 模板检查(PMI)
• 区域掩模检验(AIMS)
• 掩模空bai检验(MBI)
• 极紫外光学链中的极紫外扫描仪检测
• 材料科学
• 晶片光刻检验