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极紫外光源  

极紫外光源
EUV 光源高占空比和交钥匙操作(用户友好且具有自动化协议,确保系统平稳运行,无风险和中断)


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产品型号 3
货号 操作 名称
TEUS S-200 极紫外光源   [PDF] 激光平均功率:200W;脉冲重复率:50kHz或135kHz(可调);等离子体稳定性:3% RMS    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
TEUS S-100 极紫外光源   [PDF] 激光平均功率:100W;脉冲重复率:25kHz或70kHz(z高);等离子体稳定性:3% RMS    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
TEUS S-400 极紫外光源   [PDF] 激光平均功率:400W;脉冲重复率:100kHz或200kHz(可调);等离子体稳定性:3% RMS    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
总览

EUV 光源
高占空比和交钥匙操作(用户友好且具有自动化协议,确保系统平稳运行,无风险和中断)

产品特点

• 高亮度(意味着高吞吐量)以及出色的稳定性

• jue对Min. 碎片

• 很高的正常运行时间


产品应用

• 掩膜及表面检查:

• 模板检查(PMI)

• 区域掩模检验(AIMS)

• 掩模空bai检验(MBI)

• 极紫外光学链中的极紫外扫描仪检测

• 材料科学

• 晶片光刻检验











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