激光波长:248.6nm;透射带:T > 40% 248.6 nm;半高全宽:1.7 nm;保证最小带宽:仅保证激光波长处的透射率;入射角:0 ± 2°;通光孔径:≥ 10 mm;横向尺寸(直径):12.5 mm;
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248.6 nm 激光线带通滤光片是一款专为 248.6 nm KrF 准分子激光器设计的高性能窄带干涉滤光片。产品采用高品质熔融石英(Fused Silica)基片及多层硬质介质膜镀膜工艺,在248.6 nm激光波长处具有较高透过率,同时对通带两侧杂散光具有优异的截止能力,可有效提高系统信噪比。该产品广泛应用于准分子激光系统、半导体光刻、紫外拉曼光谱、荧光检测、紫外成像及科研仪器等领域。
产品特点
专为248.6 nm KrF准分子激光器设计;
中心波长精准,适用于单激光谱线;
半峰全宽(FWHM)仅1.7 nm;
通带外z高截止深度可达 OD6;
硬质介质镀膜,环境稳定性高;
熔融石英基片,紫外透过性能优异
产品应用
KrF准分子激光系统
半导体光刻设备
紫外激光加工设备
激光诱导荧光(LIF)
紫外拉曼光谱仪
详细参数
技术规格表
规格 | 数值 |
激光波长 | 248.6nm |
透射带 | T > 40% 248.6 nm |
截止带 | ODabs > 5 228.2-246.1 nm |
截止带 | ODabs > 6 228.7- 244.9 nm |
截止带 | ODabs > 6 252.3-273.5 nm |
截止带 | ODabs > 5 251.1-279.9 nm |
半高全宽 | 1.7 nm |
保证Min. 带宽 | 仅保证激光波长处的透射率 |
入射角 | 0 ± 2° |
通光孔径 | ≥ 10 mm |
横向尺寸(直径) | 12.5 mm |
滤光片厚度(带安装) | 3.5 mm |
滤光片厚度公差(带安装) | ± 0.1 mm |
滤光片厚度(不带安装) | 2.0 mm |
滤光片厚度公差(不带安装) | ± 0.1 mm |
表面质量(划痕-麻点) | 60-40 |
滤光片有效折射率 | 1.77 |
光学损伤阈值 | 0.1 J/cm² @ 532 nm(10 ns 脉宽) |
方向 | 环上箭头表示推荐的光传播方向 |
基底材料 | 熔融石英 |
光谱特性曲线图
透过率—波长曲线

光密度光谱图

| 名称 | 型号货号 | 描述 | 价格 |
|---|
