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248.6 nm 激光线带通滤光片


激光波长:248.6nm;透射带:T > 40%  248.6 nm;半高全宽:1.7 nm;保证最小带宽:仅保证激光波长处的透射率;入射角:0 ± 2°;通光孔径:≥ 10 mm;横向尺寸(直径):12.5 mm;

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产品总览

248.6 nm 激光线带通滤光片是一款专为 248.6 nm KrF 准分子激光器设计的高性能窄带干涉滤光片。产品采用高品质熔融石英(Fused Silica)基片及多层硬质介质膜镀膜工艺,在248.6 nm激光波长处具有较高透过率,同时对通带两侧杂散光具有优异的截止能力,可有效提高系统信噪比。该产品广泛应用于准分子激光系统、半导体光刻、紫外拉曼光谱、荧光检测、紫外成像及科研仪器等领域。

 

产品特点

专为248.6 nm KrF准分子激光器设计;

中心波长精准,适用于单激光谱线

半峰全宽(FWHM)仅1.7 nm;

通带外z高截止深度可达 OD6;

硬质介质镀膜,环境稳定性高;

熔融石英基片,紫外透过性能优异

 

产品应用

KrF准分子激光系统

半导体光刻设备

紫外激光加工设备

激光诱导荧光(LIF)

紫外拉曼光谱仪

 

详细参数

技术规格表 

规格

数值

激光波长

248.6nm

透射带

T > 40%  248.6 nm

截止带

ODabs > 5  228.2-246.1 nm

截止带

ODabs > 6  228.7- 244.9 nm

截止带

ODabs > 6  252.3-273.5 nm

截止带

ODabs > 5  251.1-279.9 nm

半高全宽

1.7 nm

保证Min. 带宽

仅保证激光波长处的透射率

入射角

0 ± 2°

通光孔径

≥ 10 mm

横向尺寸(直径)

12.5 mm

滤光片厚度(带安装)

3.5 mm

滤光片厚度公差(带安装)

± 0.1 mm

滤光片厚度(不带安装)

2.0 mm

滤光片厚度公差(不带安装)

± 0.1 mm

表面质量(划痕-麻点)

60-40

滤光片有效折射率

1.77

光学损伤阈值

0.1 J/cm² @ 532 nm(10 ns 脉宽)

方向

环上箭头表示推荐的光传播方向

基底材料

熔融石英

 

光谱特性曲线图

透过率—波长曲线

 

光密度光谱图

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  名称 型号货号         价格
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