绿光皮秒激光器是一款面向高精度、高效率激光微加工应用开发的工业级超快激光器。产品采用 532 nm绿光输出,脉冲宽度为 10 ps,根据不同系列及型号,可提供 10 W~100 W 的平均功率输出。其中高功率型号z高可实现 100 W 输出,兼顾高光束质量与高功率加工能力,可满足后端DOE整形等应用需求,并具备PST功能。产品采用模块化设计,结构稳定、维护便捷,同时支持RS232、GATE、TRIG等控制方式,并具备PSO功能,便于与自动化加工设备及精密运动平台集成。
产品特点
z高100 W绿光皮秒输出
优异的光束质量
高峰值功率与低热影响
高稳定性输出
模块化设计
产品应用
BC开槽
钙钛矿划线
PI膜切割
TOPCon Poly减薄
尺寸图

详细参数
技术规格表
参数 | 指标 |
典型波长 | 532 nm |
重复频率 | 400–2000 kHz |
脉冲宽度 | 10ps |
平均功率 | ≥100 W |
Max. 脉冲能量 | ≥250 μJ |
光束质量 M² | <1.3 |
偏振消光比 | >100:1 |
出口光斑直径 | 2 mm |
出口光束发散全角 | <0.5 mrad |
平均功率稳定性 | RMS<0.8% |
冷却方式 | 水冷 |
产品测试结果
典型光束质量

典型光斑

高功率RMS功率稳定性测试结果

