紫外皮秒激光器是一款面向高精度微细加工应用开发的工业级超快激光器。产品采用 355 nm紫外波长,脉冲宽度为 10 ps,根据不同型号可提供 5 W、20 W、30 W、40 W 等多个功率等级,z高平均功率达到 ≥40 W。该系列产品具有较小的热影响区域,可适用于不同微纳加工场景。产品光束质量达到 M² < 1.2,同时支持RS232、GATE、TRIG控制及PSO功能,并采用模块化设计,兼顾结构稳定性、设备集成能力以及后期维护便利性。
产品特点
z高40 W紫外皮秒输出
355 nm紫外波长
10 ps超短脉冲
优异的光束质量
长寿命设计
产品应用
OLED切割
FPC切割
硅片划线切割
铜箔切割
尺寸图

详细参数
技术规格表
参数 | 指标 |
典型波长 | 355 nm |
重复频率 | 500–2000 kHz |
脉冲宽度 | 10ps |
平均功率 | ≥40 W |
Max. 脉冲能量 | ≥80μJ |
光束质量 M² | <1.2 |
偏振消光比 | >100:1 |
出口光斑直径 | 2.2 mm ±0.3 mm |
出口光束发散全角 | <1.5 mrad |
平均功率稳定性 | RMS<1% |
冷却方式 | 水冷 |
产品测试结果
典型光束质量

典型光斑

高功率RMS功率稳定性测试结果

