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TEUS S-100 极紫外光源


激光平均功率:100W;脉冲重复率:25kHz或70kHz(z高);等离子体稳定性:3% RMS

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产品总览

主要技术参数

型号TEUS S-100
激光平均功率100W
脉冲重复率25kHz或70kHz(z高)
可收集EUV功率的立体角0.05sr
等离子体尺寸*µm≤ 60 or ≤ 40
带内辐射转换效率(13.5 nm±1%)2 % @2π·sr 或 1.6% @2π·sr
ЕUV碎片缓减系统后带内通量收集角(13.5nm±1%)11 mW 或9 mW
碎片缓减系统后带内光谱亮度(13.5nm±1%),W/mm2·sr≥ 80W/mm2·sr或≥ 140 W/mm2·sr
等离子体稳定性3% RMS


系统寿命和维护要求

型号TEUS S-100
在24/7运行模式下,不使用特殊膜过滤器,收集器寿命降解10%不少于8个月
在24/7运行模式下,使用特殊膜过滤器,收集器寿命降解10%不少于18个月
每次维护时间:4个月- 1天
正常运行时间在24/7运行模式***4个月


电力,系统尺寸和重量

型号TEUS S-100
电功率6.5 kW
尺寸(L×W×H1500×1000×1200 mm
重量,包括激光部件770 公斤

设备需求

型号TEUS S-100
房间清洁度等级ISO7
水流速率10升/分钟


产品特点

• 高亮度(意味着高吞吐量)以及出色的稳定性

• jue对Min. 碎片

• 很高的正常运行时间


产品应用

• 掩膜及表面检查:

• 模板检查(PMI)

• 区域掩模检验(AIMS)

• 掩模空bai检验(MBI)

• 极紫外光学链中的极紫外扫描仪检测

• 材料科学

• 晶片光刻检验


其它型号
  名称 型号货号         价格
TEUS S-200 极紫外光源 货号无
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TEUS S-400 极紫外光源 货号无
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