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高精度音圈电机直线运动平台


运动轴数:1 轴;行程:10 mm;最大连续推力:5 N;峰值推力:15 N;单向定位精度:8 μm;重复定位精度:<0.05 μm;最小运动增量:10 nm;编码器分辨率:1 nm;

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产品总览

MP-LS-10-8-0.05是一款集成式高精度音圈电机线性位移平台,专为纳米级定位和高速精密运动控制应用而设计。产品采用移动磁体音圈驱动技术,结合线性模拟编码器和交叉滚柱导轨,实现高分辨率、高重复精度和稳定的运动性能。平台内置运动控制器,可通过 RS-232 通信接口进行控制,支持 Zaber ASCII 通信协议,适用于科研实验、光学系统集成、半导体设备及精密自动化等应用场景。

 

产品特点

音圈电机直接驱动,无机械传动间隙;

集成运动控制器,简化系统集成;

线性模拟编码器闭环反馈

 

产品应用

半导体检测设备

光学精密定位

激光加工设备

显微成像系统

自动化测试平台

纳米定位系统

科研实验平台

 

详细参数

技术参数

参数

规格

运动轴数

1 轴

行程

10 mm

Max. 连续推力

5 N

峰值推力

15 N

移动质量

0.18 kg

整机重量

0.5 kg

单向定位精度

8 μm

重复定位精度

<0.05 μm

Min. 运动增量

10 nm

编码器分辨率

1 nm

z低运动速度

0.61 nm/s

速度分辨率

0.61 nm/s

电机类型

移动磁体音圈电机

力常数

2.23 N/A

导轨类型

防蠕变交叉滚柱导轨

编码器类型

线性模拟编码器

内置控制器

通讯接口

RS-232

通讯协议

Zaber ASCII(默认)

数据接口

锁紧式 M8 四针连接器

模拟输入

1 路

数字输入

2 路

数字输出

1 路

LED 状态指示

支持

电源输入

48 VDC

电源接口

两针螺钉端子

工作温度

0~50 ℃

真空兼容

不支持

 


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