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精度（单向）：1.5 µm；自动检测：是；力常数：3.7 N/A（0.8 lbs/A）；导轨类型：交叉滚柱轴承；水平跳动：< 4 µm；电感：0.09 mH/相；限位或原点感应：光学索引标记；
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MP-DDS-25-1.5-0.2是一款采用动磁式直线电机（Moving Magnet Track Linear Motor）驱动的高精度单轴线性运动平台，集成1 nm 分辨率线性模拟编码器和高刚性交叉滚柱导轨，具有高定位精度、高重复定位精度、高速度及优异的运动稳定性。平台适用于半导体设备、精密光学、激光加工、自动化检测、生物医疗及科研实验等对定位精度要求很高的应用场景。
产品特点
动磁式直线电机直接驱动，无丝杆传动；
1 nm 高分辨率线性编码器，全闭环控制；
支持高速连续扫描及精密定位
产品应用
半导体制造设备晶圆检测平台
光学镜头调节
光纤自动耦合
激光加工设备
AOI 自动光学检测
科研实验设备
详细参数
技术规格表
参数 | 数值 |
精度（单向） | 1.5 µm |
自动检测 | 是 |
运动轴数 | 1 |
内置控制器 | 否 |
CE认证 | 是 |
编码器计数分辨率 | 1 nm |
编码器类型 | 线性模拟编码器 |
力常数 | 3.7 N/A（0.8 lbs/A） |
导轨类型 | 交叉滚柱轴承 |
水平跳动 | < 4 µm |
电感 | 0.09 mH/相 |
限位或原点感应 | 光学索引标记 |
Max. 加速度 | 78.5 m/s² |
Max. 中心负载 | 100 N |
Max. 持续推力 | 6 N |
Max. 速度 | 800 mm/s |
Min. 增量位移 | 12 nm |
Min. 速度 | 0.61 nm/s |
电机连接 | D-sub 26针 |
电机额定电流 | 1800 mA/相 |
电机类型 | 动磁式导轨直线电机 |
电机绕组电阻 | 2.3 Ω/相 |
安装接口 | M6 螺纹孔 |
运动质量 | 0.29 kg |
工作温度范围 | 0 ~ 50 °C |
峰值推力 | 16 N |
俯仰（Pitch） | 0.006° |
推荐控制器 | 推荐 X-MCC（48 V） |
重复定位精度 | < 0.2 µm |
翻滚（Roll） | 0.005° |
速度分辨率 | 0.61 nm/s |
俯仰刚度 | 500 N·m/° |
翻滚刚度 | 500 N·m/° |
偏摆刚度 | 400 N·m/° |
行程范围 | 25 mm |
典型速度稳定性 | 带1.0 kg负载、100 mm/s速度下为 ±0.33% |
真空兼容 | 否 |
垂直跳动 | < 4 µm |
重量 | 0.88 kg |
偏摆（Yaw） | 0.005° |
典型定位精度曲线
| 名称 | 型号货号 | 描述 | 价格 |
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营业执照