MP-DDS-10-8-0.05是一款采用动磁式音圈电机直驱技术的高精度单轴线性位移台,具有 10 mm 行程。产品内置高分辨率线性模拟编码器,直接检测工作台实际位置,可实现纳米级位置反馈、快速响应及高重复定位性能。该产品取消了丝杆、齿轮和皮带等机械传动部件,电机推力直接作用于运动平台,从而减少背隙、摩擦、磨损及传动误差。配合推荐的 MCC/X-MCC 48 V 控制器,可用于快速点位运动、精密扫描和多轴协调运动。产品采用防蠕动交叉滚柱轴承导向,兼顾运动精度、结构刚性和长期运行稳定性,适合显微成像、光学对准、半导体检测、纳米定位及精密自动化设备。
产品特点
磁式音圈电机直驱,无丝杆传动背隙;
线性模拟编码器直接位置反馈;
防蠕动交叉滚柱轴承
产品应用
光学元件精密定位
显微镜样品扫描
超分辨率成像
半导体晶圆检测
精密测量仪器
高速短行程扫描
详细参数
技术规格表
参数 | 数值 |
精度(单向) | 8 µm |
自动检测 | 是 |
运动轴数 | 1 |
内置控制器 | 否 |
编码器计数分辨率 | 1 nm |
编码器类型 | 线性模拟编码器 |
力常数 | 2.23 N/A |
导轨类型 | 防爬行交叉滚柱轴承 |
限位或归位传感 | 光学索引标记 |
Max. 持续推力 | 5 N |
Min. 速度 | 0.61 nm/s |
Min. 增量运动 | 10 nm |
电机接口 | D-sub 26 |
电机类型 | 动磁式音圈电机 |
安装接口 | M3 和 M6 螺纹孔 |
动子质量 | 0.18 kg |
工作温度范围 | 0~50 °C |
峰值推力 | 15 N |
推荐控制器 | X-MCC (48 V) 推荐 |
重复定位精度 | < 0.05 µm |
速度分辨率 | 0.61 nm/s |
行程范围 | 10 mm |
真空兼容 | 否 |
总重量 | 0.5 kg |
| 名称 | 型号货号 | 描述 | 价格 |
|---|
