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高速直驱线性位移台


精度(单向):4 µm;运动轴数:1;内置控制器:是;CE 认证:是;通信接口:RS232;通信协议:Zaber ASCII(默认);数据线连接:带锁扣的 4 针 M8;编码器计数分辨率:1 nm;

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产品总览

MP-DDS-12-4-0.5是一款高性能直驱线性位移台,采用Moving Coil(动圈式)音圈电机直接驱动技术,集成高精度线性模拟编码器和运动控制器,实现高速、高加速度及高精度定位控制。平台采用交叉滚柱轴承导向,具有优异的运动平稳性、刚性和重复定位性能,适用于高速扫描、精密检测、光学调整及半导体制造等领域。产品内置控制器,通过 RS-232 接口即可实现运动控制,无需外接驱动器,可快速集成至自动化设备和精密运动系统中。

 

产品特点

动圈式音圈电机直接驱动;

内置高性能运动控制器;

集成线性模拟编码器

 

产品应用

高速光学扫描

激光加工与激光调焦

半导体晶圆检测

精密光学定位

显微镜自动扫描

科研实验平台

纳米定位及精密运动控制

 

详细参数

技术规格表 

参数

数值

精度(单向)

4 µm

运动轴数

1

内置控制器

CE 认证

通信接口

RS232

通信协议

Zaber ASCII(默认)

数据线连接

带锁扣的 4 针 M8

数字输入

1

数字输出

2

编码器计数分辨率

1 nm

编码器类型

线性模拟编码器

力常数

12.6 N/A

导轨类型

交叉滚柱轴承

水平跳动

< 5 µm

LED 指示灯

限位或归位传感

光学索引标记

手动控制

Max. 加速度

245 m/s²

Max. 中心负载

100 N

Max. 持续推力

12 N

Max. 电流消耗

1000 mA

Max. 速度

1400 mm/s

机械驱动系统

动圈式直驱

Min. 增量运动

200 nm

Min. 速度

0.61 nm/s

电机类型

音圈线性执行器

安装接口

M6 和 M3 螺纹孔

动子质量

0.095 kg

工作温度范围

0~50 °C

峰值推力

26 N

俯仰(Pitch)

0.01°

电源插头

2 针螺丝端子

电源电压

24~48 VDC

重复定位精度

< 0.5 µm

滚动(Roll)

0.01°

速度分辨率

0.61 nm/s

俯仰刚度

50 N·m/°

滚动刚度

70 N·m/°

偏航刚度

85 N·m/°

行程范围

12 mm

典型速度稳定性

10 mm/s 速度、0.38 kg 负载下,± 4.7%

真空兼容

垂直跳动

< 6 µm

总重量

0.8 kg

偏航(Yaw)

0.01°

 

单向定位误差曲线

图片2.png


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